|
|
|
��ϸ����ӹ��еļ�����������ժҫ:�����˳�ϸ�����ӧ�á��ʊ��豸����չ���ƣ��լ���ϸ�����ڼӹ�����ļ����������⡣ �ؼ���:��ϸ����;�ʊ�; ӧ�ã���ɢ 1. ��ϸ������� 1.1���� ���ڳ�ϸ��������ƚ���,ŀǰ������ȫһ�µ�˵��������������ҵ���ڳ�ϸ�������;���ʊ������ͼ���ˮƽ�ij��,�գ�ϸ����������в�ͬ�ļ���,�����ձ�����ϸ��������ȶ�ϊ0.1�̣����¡����������щѧ�߽�100�̣���1�̣�����������ϊ��ϸ����,�����������豸��ͬ,��ϊһ����������ϸ���塣���ڿ���ӹ���˵,�ҹ�ѧ��ͨ��������с��10�̣��ķ������ϳ�ϊ����ϸ���塱�� 1.2��ϸ��������� ŀǰ,�գ�ϸ��������ի�û����ȫ�˽�,�ѿ��ƚ���������կɹ���ϊ���¼��㣺 (1) �ȱ���������ڳ�ϸ��������ƚ�с,������ȱ������ӧ����,������ҳ���ӡ��ȱ������,ʹ����нϻõķ�ɢ�ժ��������ܡ� (2) ���ժá��������ȵı�с,���ӵı���ԭ�����ɱ�����,ʹ����н�ǿ�ı�����ժʹ���,����ǿ����,�������õļ�ѧ��ӧ�ԡ� (3) �۵�͡������о�����,���ʵ�����խс,���۵��խ�͡� (4) ����ǿ����ϸ����������ǿ�������ʵĵų뻹с,�������ӽ�ʹ���ż�ҳ��һ�����ô���,���нθ�ľ���������������ܶȼ�¼�ŵ�������ԭ�ϡ� (5) �������ժ��ȵ��ժá���ϸ�����ر��dz�ϸ��������,������с��100����ժ�,�ֳʺ�ɫ,������խϸɫխ��,���ǹ���ȫ�������������յ�ե�ʡ�
1.3��ϸ������ʊ����� ��ϸ������ʊ������кܶ�,�������ʊ���ԭ���ϸ���ҫ������:һ���ǻ�ѧ�ϳɷ�,һ���� �������鷨����ѧ�ϳɷ���ͨ����ѧ��ӧ������ת��,�����ӡ�ԭ�ӡ����ӿ��������γɺ;��峤����ʊ��õ�����,�����������ո��ӡ��ɱ��ߡ�������ȴ����,���ի�ѧ�ϳɷ����ʊ���ϸ���巽��ӧ�ò��㡣�������鷨��ͨ����е��������,ʹ���ϸ��顣�������鷨����ڻ�ѧ�ϳɷ�,�ɱ��ϵ�,������լ�,���������,ŀǰ�ʊ���ϸ������ϵ���ҫ����ϊ�������鷨�����õij�ϸ�����豸���������������е������������ĥ������ĥ������ĥ�լ���ĥ���ȡ� 2��ϸ�����ӧ�� ��ϸ���岻��������һ�ֹ��ܲ���,����ϊ�µĺ��ܲ��ϵĸ����뿪��չ���˹�����ӧ��ǰ ������ϸ������������ϸ���ֲ�խ����������,������бȱ����������ըߡ���ѧ��ӧ�ٶȿ졢�ܽ��ٶȿ졢�ս���ǿ�ȴ��լ����صĵ��ԡ����ԡ���ѧ�ե�,����㷺ӧ�������༼������ 2.1�������ṥ��ҵ ��ϸ����������������укͣу֣õ�����,����ԭ�ϳɱ�,������ʒ���ܡ���ʯī�ӹ��ɣǣңխ��ܼ�ĥ���ӽ�,�ɸ��ƻ�е����,��լ����ȼ��,���ٴ�����;��ϸ��������ֽ������,�����ֽ�i�,��߲�ʒ����;����ɽ����೬ϸ�����ƴɸ�ч����,ӧ����ʯ��ҵ�ĵ��ѻ���ŀǰ����ϵ��¡��䶳�������,�������ϻͺϳ���֬���л��߷��ӳ��ϼӹ����л��ﳬϸ���塣 2.1���ӹ�ҵ ��ϸ������������ҵ��ӧ�õĵ��ʹ����е��ӽ���(�ԣ��2����atio3���ã�)���ż�¼����(��--�ƣ�2��3)�������մɷ���(batio3)������д�����(�ӣ��2)�⡢�粨���ղ��ϼ����������ϡ� 2.3ҽҩ��ũҩ��ҵ ��ũҩ�ӹ��ɳ�ϸ�����,�����ɽ���20%����,��ũ����ȴ����20%����,�еij�ʒ��ȡ������;����ѫһ�е�ѫ�����0.01�̣�,���ʊ�<0.01�̣��ij�����,ע��ѫ���н�����ч�����ƻ����;��ҩ���ƴɳ�ϸ����(������),�������÷���,���ҿ������ч�ɷֵ�������,����ҩ�����ġ� 2.4���ϲ�ҵ ��ϸ�������ִ����ϲ�ҵ�е�ӧ�����ܵ��߶����ӡ�ϊ�˼ӹ���ҫ������ӧ��ҫ��,�ִ���ҵ���϶�����ԭ�϶��зdz���ȷ��ҫ��ŀǰ���⾫ϸ�������²������գ�ϸ������ϊ����ԭ�ϵ���ռ80%����,��ʿ��95%,��ĩԭ�ϳɱ�ռ��ʒ�ɱ���30%��60%����ij�̶ֳ���,��ϸ����ϊ��щ���������������о�������������ˮƽ�춨�����õļ����� 3.2��ϸ������žۺͷ�ɢ���� �ڳ�ϸ���弼���г�ϸ����ķ�ɢ��������ؼ��ļ������ּ������ȳ��������ȼ����˵���ҵ�ľ��у����ںܴ�̶���ȡ���ڿ����ķ�ɢ�̶ȡ� 3.2.1�ž۲����ĵ�ԭ�� 1�����ӽ������������������ ������֪������֮�����ǵ����ŷ��»����������ƕ̳��������ǣ������ɼ��������ӽ����幹�ɵ���ϵ��������ӽ����������ã��������������������ч���ɴ�50nm���ϣ����ڳ���������ϸ���������ķ����������ǿ������ŵĸ���ԭ�� 2�� �����侲��������������� �ڸɿ����д������������ȼ�ɵ�ġ�������õ������������������χ���ʵļ���ǿ�ȣ��ڸɿ�����լϊ1��7��10����ӣ�crn2���ɵ��������������ӵ�ʱ�����������ɵ��������է�����ŵ�ɣ�ʹ����������ʣ���ɣ��ӷ������ӵ���λ� 3��������ʪ�����е�ճ�� ���������ʪ�ȳ���65��ʱ��ˮ������ʼ�ڿ������漰���������ۣ����������γ�һ�ŷ������ǿ��ճ������һ��ճ������ҫ����һ�������������ëϸѹ����������������ĸ��������ɡ� 3.2������ɢ;�� 3.2.1 ������է� �������������ⲻ���о��߲��ñ�����է����г�ϸ��������ķ�ɢ�о������������ȼ���ը��ƴ�ϸ��������ŀ��ž����ܣ������ڸ��կ��������ƶ��˱������ʣ�������ӧ�ô����ܴ�ӱ�죬��ʱ�������������ĸ������á��ѿ��о��������л��ܼ��ռ������������ӵķ��������ַ�����ʹ�����������ܼ��е��ž۴���ƚ��ͣ������ܽ���ڿ����е��ž����⡣ 3.2.2��е��ɢ�� ��е��ɢ��ָ�û�е���ѿ������ŵ��飬����ŀǰӧ����㷺�ķ�ɢ��������е��ɢ�ı�ҫ�����ǻ�е��(ָ����ļ�������ѹӧ��)ӧ���ڿ������ճ������ͨ����е�����ɸ�����ת��ҷ�ֻ�������������켰����������������ǿ�����˶����γɵġ���һ������ҫ��ͨ���ľ���ɢ�豸����߷�ɢч�ʡ���е��ɢ����ʵ�֣�����������һ��ǿ���է�ɢ�������ճ��ŀ������ܿ����ڷ�ɢ�б���ɢ�����ǿ������������û�иı䣬�ų���ɢ�����ѹ�����¾��š���е��ɢ����һ�������ǵ��������п��ܱ����飬��е�豸ĥ����ɢч���½��ȡ� 3.2.3�����ɢ�� �ڳ�ʪ�ŀ����у��������γɵ�һ�������ǿ������ŵ���ҫԭ����˶ž�һ�ų��������� ���γɵ�һ�������dz�֤������ɢ����ҫ�ֶρ��ڼ������е��й��������̶����ü��¸���Ԥ��������ȥ�����ϵ�ˮ�֣���֤��������ɢ�����ﴦ����һ�ּ����еķ�����ŀǰ�����ڿ��ʒ�ĸ����豸��ҫ�û�תҥ������ӡ�բͳ�������������䡢զ���������ȡ���щ�豸���ܸ������ϣ����豸ռ���������ͷ�ʴ��զ����̶ȵͣ������������ӣ��豸��ת�ܺĵ��������ʵͣ���ʒ��ʧ�θ� 3.2.4�����ɢ�� �����ɢ��ָ����������������ҫ���������ͬ���եĵ�ɣ����úɵ����ӽ�ŀ��س�����ʵ�ֿ�������ȫ�����ȵķ�ɢ�������ɢ�ĺؼ������ʹ������ֺɵ硣ŀǰʹ�����ɵ�ķ�����ҫ�нӵ����硢��ӧ���硢���κɵ�ȷ��������õ���������ҳ��ʹ�������硣 4����ϸ����ķ�չ���� �ִ��������²��ϲ�ҵ��ѹ�ٷ�չ��ҫ��ϸ����ӹ�����ҳҫ��ʱ��������ϸ�չ��ŀǰ����ϸ����ּ��������ٵ���ս�ǣ� 1.����ϸ��������դ��������ҽ�ơ���������������ĸ��������ӧ�ý�խ��խ�㷺����˽��ӧ�����ط�չ���и��ԡ���ѡ���ԡ��������ܲ�ͬ�ij�ϸ�����²��ϡ� 2��ŀǰ�ҹ���ϸ�����������ҵ��չ�ͽ�,���豸ʒ�ֲ���,����,����ʒ�ֶ��ƿ���������,�����з�����,����ҫ�ӵ������۵��о����¹��յŀ��������豸�����ƹ����� 3��������ܳ�ϸ����ͱ�������豸,�ڽ��г�ϸ������ͬʱ���б�����ԡ� 4��ע���о���ϸ�����ڸ��ֽ����еķ�ɢ��������ӧ�豸���о���ϸ������žۻ�����̽�������ž۵���ч;���� 5���ľ������豸���������豸����ǿר���豸���о�����չ��ч�ͺġ��߾�ϸ�ʹ������ķּ��������豸�� 6����߲�ʒ���ȶ��ժͿɿ��ԣ�ע�ط�����ּ����л���ϡ� 5���ܽ� ��ϸ�������������ϸ���ֲ�խ����������,������бȱ����������ըߡ���ѧ��ӧ�ٶȿ졢�ܽ��ٶȿ졢�ս���ǿ�ȴ��լ����صĵ��ԡ����ԡ���ѧ�ե�,����㷺ӧ���ڵ�����ϣ��ҽҩ��ũҩ�����¡��������ṥ��������ģ�ߵ�������21 ������ҫ�ļ������ϡ�
���ϻ��ڻ����ƽ�����˾רҵ�����ڷ����ﴦ������դ�����á���������������������ҵ����������ʽĥ������ĥ����ת�ʿ����10%���ϣ��������5%��10%���ܺľ���20%���ң����ܴﵽ50-3000t/d�����ӽ��ܻ�������������ֱ����ѯ18637113703(��ͬ��)�����ڻ����ƽ���˾ϊ���߳ϸ�����ʱ��ӭǰ���ι�! רҵ�ۺ���� ����п������ ��תҥ����ɻ� ������������ ��ȴ����Ԥ���� ����ʯ�������� �������������� ����þ������ ����ʯ����þ�� ��ʯ��תҥ ��ĥ������ĥ�� ������������ ��ҥ����תҥ ���������������� �طʡ��л��� �̡�σ�θ�����תҥ ��ⱦ�������������� ���������ʽĥ����ƥ�����ͻ��������� ���ϻ��������ơ���װ����ȼ��ϵͳ |